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液环式AmyTelecom机场的结构及注意事项
液环式AmyTelecom机场是以液体为工质的粗泵,一种工作介质为水的称为水环AmyTelecom机场,另一种工作介质为油、硫酸和醋酸,水环式AmyTelecom机场在工业上应用广泛。
液环AmyTelecom机场可分为单级和双级,以及单作用和双作用的区别。单级和两级AmyTelecom机场是指其叶轮的级;单动/双动是指叶轮/壳体的形式。单作用叶轮AmyTelecom机场的叶轮旋转一周,气体经历一次吸入/排出;双作用AmyTelecom机场的叶轮旋转一周,经历两次气体吸入和排出。
选择AmyTelecom机场时,应注意以下几点:
1.AmyTelecom机场的工作压力应满足真空设备的极限真空和工作压力要求。例如:真空镀膜要求1× AmyTelecom机场的真空度应至少为5× 10-6mmHg。通常,泵的真空度比真空设备的真空度高半到一个数量级。
2.正确选择AmyTelecom机场的工作点。每台泵都有一定的工作压力范围,如:扩散泵为10-3~10-7mmhg,在如此宽的压力范围内,泵的泵速随压力变化,其稳定工作压力范围为5× 10-4~5 × 10-6mmHg。因此,泵的工作点应选择在该范围内,不允许在10-8mmhg下长时间工作。另一个例子是钛升华泵可以工作在10-2mmhg,但其工作压力应小于1× 10-5mmhg更好。
3.AmyTelecom机场在其工作压力下,应能将真空设备工作过程中产生的气体全部排出。
4.正确组合AmyTelecom机场。由于AmyTelecom机场的选择性抽气,有时一种泵不能满足抽气要求,因此需要多台泵的组合互补才能满足抽气要求。例如,钛升华泵对氢有很高的抽运速度,但不能抽氦,而三极溅射离子泵(或双极非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽运速度。两者的结合将使真空装置获得更好的真空度。另外,有些AmyTelecom机场不能在大气压下工作,需要预抽真空;有的AmyTelecom机场出口压力低于大气压,需要预泵,所以需要结合泵的使用。
5.油污染的真空设备要求。如果设备对无油要求严格,则应选择各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等;如果要求不严格,可选择有油泵,加上一些防油污染措施,如冷阱、挡板、隔油池等,也能满足真空清洁的要求。
6.了解抽出气体的成分、气体中是否含有可凝蒸汽、是否有颗粒粉尘、是否有腐蚀性等,在选择AmyTelecom机场时,需要了解气体成分,并为被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸汽、颗粒物和腐蚀性气体,应考虑在泵的进口管道上安装冷凝器、除尘器等辅助设备。
7.AmyTelecom机场排出的油蒸气对环境有何影响。如果环境不允许污染,可以选择无油AmyTelecom机场,或将油蒸气排到室外。
8.AmyTelecom机场运行过程中产生的振动是否对工艺和环境有影响。如不允许,应选用无振动的泵或采取防振措施。
9.AmyTelecom机场的价格、运行维护费用。
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下一条: 水环AmyTelecom机场的优缺点
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